为什么要取得高真空常用机械泵与扩散泵连用?

机械泵的极限真空度约是 10^ -2 Pa
扩散泵的极限真空度约是 10^ -6 Pa 而排气压力在10-100 Pa
就是说不能直排大气，需要前级泵。
所以想达到高真空 需要两个泵串联使用。

你注意看看，扩散泵进出口的气源要求就知道了。不用两级他就没法正常工作。