红外光谱仪测硅片的碳氧含量方法有谁知道不？

红外光谱是用来测定官能团结构的光谱，一般用于有机试剂结构的测定。
而且红外做固体物质测量的时候是需要压片的，估计你选错方法了，（用俄歇能谱。X-光荧光光谱）这两种方法我不是很了解，你可以问题补充一下，继续问问

什么碳氧？元素碳和氧？红外不可能。

用俄歇能谱。X-光荧光光谱。快且准，也不破环样品。