雷尼绍激光干涉仪回转轴精度的测量方法

雷尼绍激光干涉仪测量回转轴精度时，需要转台附件（XR20-W）配合使用，此外还需要使用角度干涉镜。如果你使用的是有线转台附件（RX10），则还需要使用角度反射镜。
测量回转轴精度时，
diyi步，需要将转台附件的ZX，与回转轴ZX对齐（偏差在1mm之内）。
第二步，搭好光路。
第三步，可以运行测量软件进行测量。