用光栅尺能实现高精度吗？我用了分辨率为1um的光栅尺，也能根据其反馈回来的数据进行补偿。但后边用激光干涉仪进行实际位置测量时，发现光栅尺显示的数值和激光干涉仪测得的数据不符。相差挺大的，这能说明光栅尺不准确吗？？
是的，光栅尺都有一定的精度.一般的厂家都是用激光干涉仪检测出厂的，但他检测的时候使用的是专门的导轨作为基准检测的，假如你安装的导轨有一定的偏差的话，那数据不符是很正常的，还有光栅尺上面的读数头里面的弹簧会有机械误差.那是清除不掉的，所以哪里产生的数据和激光干涉仪上的显示数据不对.而厂家出厂的时候都会有一个精度，那个精度就是你说的数据不符.还有你说的分辨率为1um.这不代表他的精度就是1um，只是代表这个光栅尺的重复精度显示是1um.光栅尺的精度是光栅尺玻璃上的刻线决定他的精度的主要部分.刻度越密.说明越精度越高.反之也一样.
假如还有不理解的话，你打国内生产光栅尺的厂家（规模大的，全国没有几家）的服务电话，一般都会告诉你真相/
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北原仔丧 
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