激光干涉仪一般采用进口高稳定氦氖激光器、激光双纵模热稳频技术,实现快速(约6分钟)、高精度(0.05ppm)、抗干扰能力强、长期稳定性好的激光输出;采用高精度环境补偿模块、高精度激光干涉信号处理系统、高性能计算机控制系统技术,结合线性镜组能实现0.5ppm精度的线性测量;结合相应镜组还能实现角度、直线度(平行度)、平面度、垂直度、回转轴等参数的测量,并进行静态测量和动态测量分析。
SJ6000激光干涉仪具有测量精度高,可自动监测环境温度、材料温度、环境湿度和大气压力的参数,可以手动或自动选择环境补偿。激光干涉仪测量记录可按照被测物件类型、生产单位、编号、检定员、送检单位、检定日期、设备编号和有效日期等查询和管理检定结果,并可以将数据打印成文档或者表格的形式。