激光共聚焦显微镜和白光干涉仪哪个好

激光共聚焦显微镜分辨率高，但是扫描速度相对较慢；白光干涉仪相对分辨率较低。不过现在好多共聚焦显微镜可以同时具备这两种功能，比如日Lasertec的的Hybrid，莱卡也有类似的功能----午禾科技

白光干涉仪好一些，白光干涉仪检测速度快，十秒左右即可完成测量过程。在同等系统放大倍率下检测精度和重复精度都高于激光共聚焦显微镜和聚焦成像显微镜，在一些纳米级和亚纳米级超精密加工领域，除了SuperView W1白光干涉仪，其它的仪器无法达到其精度要求。