镀膜机抽不动气，怎么回事?

这个问题建议diyi步：把所有机械泵与现有的真空系统断开，全部上盲板，看机械泵的真空抽速是否达到要求，如果可以，那就排除机械泵的问题。第二步：查看罗茨泵的抽速（方法同上）如果没问题看扩散泵，都没问题，那肯定是真空室或者管道够漏气现象。尤其注意经常活动的部位。就这些，说白了就是排除法。