外延生长薄膜时需要用单晶材料作为衬底。
常用的比如说硅单晶。单晶晶格常数比较大,所以外延生长氧化物薄膜一般用钛酸锶单晶。生长石墨烯可以用铜单晶。
外延生长薄膜原理是:薄膜的某个结晶取向的晶格常数和单晶衬底的晶格常数相匹配,这样衬底就有诱导薄膜定向结晶的作用。但是薄膜不能生长的太厚,太厚了就没有诱导作用了。具体某种材料能不能进行外延生长、需要什么材料当沉底,请自行查阅文献吧。
单晶薄膜和多晶薄膜的区别:一般在两种情况下需要生长单晶薄膜。1、只有特定取向的薄膜才有Z佳的性能。这是因为一般材料的单晶的性能都是各向异性的。2、晶界对材料的某个性能影响非常大,为了消除晶界影响把薄膜做成单晶。 总结起来就是单晶的性能比多晶好很多才有必要做单晶薄膜。也有其他因素,比如你想发好文章就做了单晶的薄膜。