并且气体被驱出的电子被电场加速,连续不断。此时离子也被加速。
你这个多弧离子镀膜机;非导电靶材,形成恒定的电离电流,气体被击穿,发射电子轰击气体分子,将靶材中的原子驱除出表面,继续电离其他气体分子,一般是阴极加负高压,使之电离,而不是电子加速撞击,可能还需要直流电弧电源或脉冲电弧电源
偏压电源其实就是在阴极和样品所在位置的阳极之间形成偏压电场,使用脉冲偏压电源,使用直流偏压电源,形成雪崩效应。
电弧电源有点类似日光灯启辉器和镇流器,靠电弧加热电离气体形成等离子体,轰击靶材,并沉积在样品表面。阴极表面的自由电子在电场作用下定向加速发射,
对于导电靶材离子镀膜其实是离子溅射镀膜