EDX，EDS，XPS，AES的异同

EDX:Energy Dispersive X-Ray Fluoresence Spectrometer
能量色散X射线荧光光谱仪

EDS:Energy Dispersive Spectrometer
能量色散谱仪

EDX是荧光分析，EDS是能谱分析，后者不是x射线能谱仪，如果想准确定量，可以考虑化学分析，XPS，或者俄歇分析(AES)，XPS和AES对表面含量较为适合。

要看你应用在哪一方面.如做表面元素分析的话建义你有EDS或XPS.