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臭氧分析仪由低压紫外灯,光波过滤器、入射紫外光反射器、臭氧吸收池、样品光电传感器、采样光电传感器、输出显示、电路部件构成。就是采用紫外线吸收法的原理,用稳定的紫外灯光源产生紫外线,用光波过滤器过滤掉其它波长紫外光,只允许波长253.7nm通过。经过样品光电传感器,再经过臭氧吸收池后,到达采样光电传感器。通过样品光电传感器和采样光电传感器电信号比较,再经过数学模型的计算,就能得出臭氧浓度大小。的检测原理有半导体原理(英国E2V)、电化学检测原理、紫外光法原理等。主要是用于臭氧制备车间(臭氧发生器、臭氧厂房等)、化工、石油、造纸、纺织、制药和香精香料工业、水处理、食品医药灭菌车间等场合 。