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四探针测试仪/四探针系统是运用四探针测量原理的多用途综合测量设备。专用于测试半导体材料电阻率及方块电阻(薄层电阻)的专用仪器。由主机、测试台、四探针探头、计算机等部分组成,测量数据既可由主机直接显示,亦可由计算机控制测试采集测试数据到计算机中加以分析,然后以表格,图形方式统计分析显示测试结果。具有功能选择直观、测量取数快、精度高、测量范围宽、稳定性好、结构紧凑、易操作等特点。适用于半导体材料厂、半导体器件厂、科研单位、高等院校对半导体材料的电阻性能测试。四探针软件测试系统是一个运行在计算机上拥有友好测试界面的用户程序,通过此测试程序辅助使用户简便地进行各项测试及获得测试数据并对测试数据进行统计分析。