企业性质
入驻年限第10年
Resmap273
在178型的技术基础上,ResMap273是半导体行业首款30毫米桌面四点探针仪。273型扩展了ResMap原来一些产品的性能,实现了太阳能对210毫米大型衬底的要求。外形小巧,坚固耐用,准确性和重复性好。
提供NIST标准片6片!
产品特点:操作简单、快速精确
电阻测量范围:1 mΩ/?? - 5 MΩ/??
典型应用:非晶硅/微晶硅和导电膜电阻率测量;选择性发射极扩散片;表面钝化片;交叉指样PN结扩散片;新型电极设计,如电镀铜电阻测量等
美国CDEZL技术: 可针对材料(不同材料、软硬薄膜或离子植入深或浅等条件,对下针状况**化。而此功能是可由软见操作,可有0.01mm 的分辨率,而非麻烦的硬件调整。
美国CDEZL技术: 可针对材料(不同材料、软硬薄膜或离子植入深或浅等条件,对下针状况**化。而此功能是可由软见操作,可有0.01mm 的分辨率,而非麻烦的硬件调整。
测试性能指标:
探针材料 WC
探头寿命> 500W次
Resmap168,178,273区别:
四探针法测量电阻率有个非常大的优点,它不需要较准;有时用其它方法测量电阻率时还用四探针法较准。
与四探针法相比,传统的二探针法更方便些,因为它只需要操作两个探针,但是处理二探针法得到的数据却很复杂。如图一,电阻两端有两个探针接触,每个接触点既测量电阻两端的电流值,也测量了电阻两端的电压值。我们希望确定所测量的电阻器的电阻值,总电阻值:
RT = V/I = 2RW + 2RC + RDUT;
其中RW是导线电阻,RC是接触电阻,RDUT是所要测量的电阻器的电阻,显然用这种方法不能确定RDUT的值。矫正的办法就是使用四点接触法,即四探针法。如图二,电流的路径与图一中相同,但是测量电压使用的是另外两个接触点。尽管电压计测量的电压也包含了导线电压和接触电压,但由于电压计的内阻很大,通过电压计的电流非常小,因此,导线电压与接触电压可以忽略不计,测量的电压值基本上等于电阻器两端的电压值。
四探针法通过采用四探针法取代二探针法,尽管电流所走的路径是一样的,但由于消除掉了寄生压降,使得测量变得精确了。四探针法在Lord Kelvin使用之后,变得十分普及,命名为四探针法。
感谢以下客户购买美国美国CDE四探针测试仪
作为半导体行业四探针测试仪测试标准之一,购买美国CDE四探针测试仪的单位非常多。
最近购买用户
科研客户:清华大学,天津大学,浙江大学中山大学浙江师范大学?复旦大学北京师范大学河北大学。。。。。。
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不能一一列举敬请谅解