嵌入式膜厚测试仪

产品特点：

?自由搭配的光纤架构，可安装于生产线上、半导体晶圆研磨设备或真空镀膜设备中。

?远端同步控制、高速多点同步测量等。

?丰富多样的光学系统套件与应用软件，提供特殊环境下最理想的膜厚解决方案。

产品架构：

?半导体晶圆面内分布测量

?玻璃基板面内分布测量

?即时性量测

?输送方向的定点品质管理

?对应真空环境之设备

?即时性测量

?输送方向的全面品质管理