详细介绍
NX-2600 多功能整片基板带对准功能多层次的纳米压印和高分辨率光刻系统
NX-2600整片基板带对准可多层次纳米压印加高分辨率光刻系统经过了大量的实时实地验证，质量可靠，性能优越稳定。具备全部压印模式：热固化、紫外固化和压印。基于独特ZG保护的Nanonex气垫软压技术（ACP），不论模版或基板背面粗糙程度如何，或是模版或基板表面波浪和弧形结构，NX-2600均可对其校正补偿从而获得无与伦比的压印均匀性， ACP消除了基板与模版之间侧向偏移，有效地延长了模版使用寿命。通过微小热容设计可获得快速的热压印周期，得到快速的工艺循环。
（www.nanonex.com)
NX-2600 具备光刻功能及光学对准的复纳米压印机
--低于1 um的光学对准精度
--低于10nm的压印分辨率
--增强的气垫软压技术可实现整个基片纳米压印均匀性
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整片晶圆（最大8″）纳米压印用于热塑性和热固性纳米压印胶
--每一次压印小于60秒的纳米压印时间
--4″，5″，6″，8″晶圆可选
主要特点：
所有形式的纳米压印：热塑化；紫外固化；热压与紫外压印同时进行；热固化。
气垫软压技术(ACP)： NanonexZG技术； wan美的整片基板纳米压印均匀性； 高通量
低于10nm分辨率； 亚1微米对准精度； 背面对准可选项；快速工艺循环时间（小于60秒）
灵活性： 4″, 6″, or 8″压印面积可选； 各种尺寸及不规则形状模板与基板均可压印
热塑压印模块
温度范围0～250oC; 加热速度>300oC/分钟; 制冷速度>150oC/分钟; 压力范围0 ～ 3.8 MPa（550 psi）
紫外固化模块
200W窄带紫外光源; 365纳米或395纳米波长可选; 全自动化控制
对准模块
X, Y, Z, Theta平台； 分场光学和CCD相机
模版装载功能
4″/5″/6″模版可用于标配纳米压印系统； 8”模板可升级
基板装载
标配纳米压印系统可装载4″基板，6″和8″基板可选; 各种尺寸及不规则形状模板与基板均可压印
独特ZG保护ACP技术可最大限度保护模板和基板，特别对于象磷化铟（InP）等极易碎模板和基板给予最大限度。
光刻
标配5”模板，标配4”直径基板； 其他尺寸可以提供； 500瓦紫外水银灯光源
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