美国SVT 脉冲激光沉积设备/PLD

●SVT SMART（Scientific Materials and Applied Research Tool）脉冲激光沉积系统具有duyi无二的优越性。它可以把激光烧蚀技术和我们所拥有的其他沉积技术（如RF源）集成于一台设备上。可以生长各种可能的材料。

●配有6个旋转靶台，实现多层薄膜结构生长。

●可与准分子激光和Yag激光相连。

●在线监控仪器做为可选件，为客户提供高质量的工艺信息反馈。

●装载室不但可以装取样品，还可以与其他生长设备或分析设备相连。

应用

●多元素复合氧化物

●高温超导材料

●磁性材料、金属材料

●低蒸汽压材料

●MEMS

基本系统

腔室及真空泵

12’’ 快速门，250l/s 分子泵，全量程规

沉积源

靶台，6X1’’(25mm) 靶，可以水平旋转，

可Z方向移动

样品台

1’’(25mm)大小，可加热至800^oC（1000^oC可选），可水平旋转，可Z方向移动

在线工艺监控

石英晶振沉积速率监控仪

自动化

自动化装置：

控制样品温度和旋转

靶台的位置控制

靶台旋转

气体控制

速率及厚度计算（利用QCM输出）

激光束扫描（可选）

激光束屏蔽控制

自动泵抽和充气

差分泵抽结构

RHEED分析（可选）

装载室压强监控（可选）

主要特点
RF射频等离子源(氧,氮)
升级高真空
增加进样室
升级为Laser-MBE （L-MBE）系统
自动软件控制

提供更洁净的薄膜生长环境,wan美的温度控制解决方案.