企业性质生产商
入驻年限第6年
产品参数
可处理碎片(小于1cm)至4英寸圆晶底物
转速可控范围:100-9999rpm;转速分辨率1rpm
加速度可控范围:100-9999rpm/s
最大单步步长:3000s;时间分辨率1s
宽输入电压适用:AC100-230V输入
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