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PFA清洗槽 应用半导体行业酸缸 浸泡硅片防污染

南京滨正红仪器有限公司

企业性质生产商

入驻年限第2年

营业执照已审核
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PFA清洗槽是即四氟清洗桶后的升级款,专为半导体光伏光电等行业设计,一体成型,无需担心漏液。主要用于浸泡、清洗带芯片硅片电池片的花篮。由于PFA的特点它能耐受清洗溶液的腐蚀性,同时金属元素空白值低,无溶出无析出,不会污染芯片晶圆等。

别称:防腐蚀槽、酸洗槽、溢流槽、纯水槽、浸泡槽、水箱、滴流槽

槽体容量:15L   外尺寸:300*210*240mm 盖子:340*240*45mm

半导体晶圆清洗槽尺寸可按要求定做。同时配套同款PFA盖子,防止污染。

二、特点:

1、外观半透明,易观察槽内试剂情况;

2、耐高低温:-200~+260℃

3、耐腐蚀:耐强酸、强碱、王水、HF和各种有机溶剂;

4、耐绝缘:介电性能与温度、频率无关;

5、防污染:本底值低,金属元素铅铀含量小于0.01ppb;

6、无溶出和析出,不会污染芯片、晶圆、硅片等;

8、化学性能稳定,可恢复性好,不易变形;

9、特氟龙塑料,经久耐用,不易碎


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