电子化学品 | 一文看懂氟树脂在湿电子化学品中应用
2024-03-27274湿电子化学品属于电子化学品领域的一个分支,是微电子、光电子湿法工艺制程(主要包括湿法蚀刻、清洗。显影、互联等)中使用的各种电子化工材料。也是是超大规模集成电路、分立器件、液晶显示器、太阳能电池、LED等制作过程中不可缺少的关键性基础化工材料之一。
电子化学品的核心要素是超净、高纯及功能性。其中,金属杂质含量和颗粒度这两个参数是湿电子化学品制备的关键之一,这意味着对试剂提纯、包装等各方面都提出了高要求。
氟树脂在超高纯试剂生产中广泛应用
在湿电子化学品生产领域应用的氟树脂主要为PTFE和PFA。良好的性能常常被用于半导体新材料行业
特点:
1.耐腐蚀:耐受强酸强碱
2.防污染:本底值低,金属元素铅铀含量小于0.01ppb
3.低的溶出和析出,确保晶圆芯片无污染
在半导体生产工艺中,不可或缺的湿级化学品PFA样品瓶、PFA花篮、PFA酸缸、PFA方槽等,连接管路的PFA接头、PTFE阀门、PFA阀门,PFA输送管等等,聚四氟乙烯材质优秀的灵活性可以根据具体需求的来定制产品
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