西班牙Sensofar经济型三维共聚焦干涉显微镜S lynx

主要应用

半导体晶圆应用、汽车零部件、消费电子、能源、材料表面、微电子、LED、微体古生物学、光学镜片加工、模具加工、钟表制造、腐蚀表面结构、摩擦学表面结构。

主要特点及功能

1）  共聚焦技术

共聚焦技术可以用来测量各类样品表面的形貌。它比光学显微镜有更高的横向分辨率,可达0.10um。利用它可实现临界尺寸的测量。当用150倍、0.95数值孔径的镜头时，共聚焦在光滑表面测量斜率达70°（粗糙表面达86°）。利的共聚焦算法保证Z轴测量重复性在纳米范畴。

2） 干涉技术

白光垂直扫描干涉（VSI）是种广泛用于测量表面特性（如形貌或透明薄膜结构）的功能强大的技术。它适合测量从光滑到适度粗糙的表面，无论物镜的NA或者放大倍数变化，均可以提供纳米的垂直分辨率。

3） 多焦面叠加技术

多焦面叠加技术是用来测量非常粗糙的表面形貌。根据Sensofar在共聚焦和干涉技术融合应用方面的丰富经验，特别设计了此功能来补足低倍共聚焦测量的需要。该技术的大亮点是快速(mm/s)、扫描范围大和支援斜率大（大86°）。此功能对工件和模具测量特别有用。

主要优势：

1） 实时图像     

SENSOSCAN为您呈现前所未有的共聚焦实时图像。我们的图像质量和速度进一步提升，在共聚焦照明模式下可达9帧/秒，在明场照明模式下高达30帧/秒。与此同时，还有多种实时图像模式选择。

2）硬件

测量头和控制器浑然一体的很好结合，体积小巧易于安装。设备自带防震垫，稳定可靠。

3） 超长工作距离物镜

S lynx采用优质的CF60-2系列的尼康镜头，在任何数值孔径下都有超长的工作距离，可选物镜高达30多枚。结合编码物镜转换器，软件能自动识别物镜并自由切换。

4） 可调节支架

Sensofar开发了4种支架，可允许150mm的调节高度。该灵活选择避免了不同高度样品扫描的局限性。

5）刀片支架

这种刀片支架是一种可选附件，可将切削工具定位在测量需要的精确位置。 它兼容市场上现有的各种刀片型号。

6） 丰富的参数设定  

通过调整参数可优化测量步骤。例如，优化自动对焦设定能够减少测量时间，采用多级的照明和优化扫描范围可观察复杂的3D形貌。优化后的测量参数可存储为单点（SMR）或多点（MMR）程序测量。

7） 一键3D测量   

用户只需找到测量位置 ， 点击3D测量按钮，SensoSCAN的软件将自动调整照明亮度，自动对焦，执行较佳的测量模式，将准确的测量结果于弹指间为您呈现。

8） 交互式的3D和2D视图提供多样的分析      

演示及渲染选项。内置测量软件有测量尺寸，角度，距离，直径，标注特性等功能。因此，SensoSCAN是一款解决各种分析任务的理想软件。您还可选择以下两套高阶软件来完成更复杂的分析SensoMAP和SensoPRO。

9） 进阶分析

更丰富的进阶分析功能可进行数据补偿，形状去除（平面，球形，不规则形状），滤波分析，剪裁和提取轮廓等。用户可生成分析模版保证分析的连续性和一致性。