紧凑型高精度反射膜厚仪

产品型号

TFMS-IV系列紧凑型高精度反射膜厚仪

主要特点

1、光学薄膜测量解决方案

2、非接触、非破坏测量

3、覆盖单层到多层薄膜

4、核心算法覆盖薄膜到厚膜

5、配置灵活、支持定制化

6、采用高强度卤素灯光源，光谱覆盖可见光到近红外范围

7、采用光机电高度整合一体化设计，体积小，操作简便

8、基于薄膜层上界面与下界面的反射光相干涉原理，轻松解析单层薄膜到多层

9、配置强大核心分析算法：FFT分析厚膜、曲线拟合分析法分析薄膜的物理参数信息

技术参数

型号

TFMS-IV

TFMS-IV（可选）

基本功能

获取薄膜厚度值以及R、N/K（可选）等光谱

光谱波长范围

380-800nm

650-1100nm（可选）

测量厚度范围

50nm-20um

100nm-200um（可选）

测量时间

<1s

光斑尺寸

0.5-3mm

重复精度

0.1nm（100nmSiO2/Si）

JD精度

±1nm or 0.5%

入射角方式

垂直入射

可选配件

1

温控台

2

Mapping扩展模块

3

真空泵