可对应各种选配，膜厚的特制解析
椭圆偏振光测量仪FE5000应用范围 - FPD LCD,PDP,FED,有机El
- 半导体 a-Si，poly-Si，其他
- 复合半导体 半导体激光，强电介质
- 数据储存 DVD,HDD,磁气头
- 光学材料 膜，防放射膜
- 膜 AR膜
FE-5000S
FE-5000的基础上追加了FE-5000S系列。FE-5000S虽然和FE-5000有相同的基本功能，但是价格低，省空间。光谱椭偏仪的用途也得到扩大。
功能进一步展开的光谱椭圆偏振光测量仪FE5000高速高精度
材料表面光学常数（n.k）的测量 [膜厚，光学定数 (n:折射率、K：消光系数)、椭圆偏光仪（tanψ、cosΔ）] 通过400ch以上的多通道光谱法，迅速测量椭圆光谱 - 可实现一分钟以内的高速测量
- 光谱点多，所以坡度大的椭圆光谱也可正确测量
利用多波长光谱仪实现高精度高感度测量
测量反射角度可变，对应薄膜的高精度解析
可对应特制解析的材料物性和多层膜等的高度评价 - 利用有效媒质近似（EMA）可测量复素折射率的波长分散，混合结晶的混合比，界面的厚度等。
- 利用各种光学常数函数和膜model解析，可对应薄膜界面等的材料物性评价
- 利用多层膜fitting解析的光学常数测量实现了膜厚膜质管理
- 通过光学常数数据基础化和菜单登陆功能，改善了操作性
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