企业性质
入驻年限第3年
产品介绍
Candela 8520检测系统采用专 利光学技术,可以同时测量两个入射角度的散射信号。它还能够自动检测并捕获表面反射、表面形貌变化、相位变化和光致发光信号,并对各种关键缺陷(DOI)进行分类。Candela 8520可以为GaN晶圆提供表面和光致发光缺陷检测,对GaN晶体缺陷、凹坑和孔洞进行检测和分类,并可用于GaN外延设备缺陷控制。功率器件应用包括SiC透明晶圆的晶体缺陷和表面缺陷的检测和分类,其中包括BPD(基平面位错)、微管、堆叠层错、晶界、位错,以及三角形缺陷、胡萝卜缺陷、掉落物缺陷和划痕等形貌缺陷。
主要功能
检测宽禁带材料上的缺陷,包括直径50mm~200mm的SiC和GaN(衬底和外延)
支持多种不同的晶圆厚度
检测颗粒、划痕、裂纹、污渍、凹坑、凸起、KOH腐蚀、掉落物、表面三角形缺陷和胡萝卜缺陷、基平面位错、堆叠层错、晶界、位错和其他宏观外延缺陷
应用案例
衬底质量控制
衬底供应商比较
入厂晶圆质量控制 (IQC)
出厂晶圆质量控制 (OQC)
CMP(化学机械抛光工艺)/抛光工艺控制
晶圆清洗工艺控制
外延工艺控制
衬底与外延相关分析
外延反应设备供应商比较
工艺设备监控
工业用途
SiC和GaN功率器件
其他高端化合物半导体器件
系统选项
SECS-GEM
信号灯塔
金刚石划片器
校准标准片
离线软件
光学字符识别 (OCR)
光致发光