日本 离子束刻蚀系统Elionix

EIS-200是Elionix推出的一款基于电子回旋共振技术（ECR）的小型离子束蚀刻系统，特别适合于科研用离子束刻蚀、减薄，清洗、镀膜等。

EIS-200原理：

利用ECR技术产生高能Ar+离子束，Ar+离子束通过电场加速到达样品表面，对样品进行物理的轰击达到刻蚀作用。

EIS-200具有以下优点：

?   方向性好，各向异性，陡直度高，侧向刻蚀少

?   分辨率高

?   不受刻蚀材料限制，可对石英等材料进行蚀刻

?   可控制蚀刻Taper角

?   可以设定多样的实验条件

二、主要功能

l  主要应用

纳米图案刻蚀

高深宽比蚀刻

表面清洁

离子减薄

l  技术能力