美国 laurell匀胶机650系列

laurell匀胶机650系列

产品描述：

过程控制器：650 系列过程控制器采用强大的微处理器，并且使用其随附的 PC 软件（以面向对象编程语言编写），在过程定义和使用方面实现了几乎闻所未闻的灵活性。该控制器允许操作员在过程执行期间实时交互，包括暂停时间，停止和从该点继续。该系统可以并且将在现场轻松快速地不断更新，并提供可下载的固件修订版。

650系列控制器也可以与带有Spin 3000的PC配合使用，Spin 3000是Laurell独有的过程管理软件。但是，编程或运行设备不需要这样做。使用PC增加了在运行过程中记录过程的能力，远程操作，编程或通过LAN或Internet进行通信。该软件无需额外费用即可提供，允许操作员创建虚拟过程模拟，甚至超出实际安装的硬件旋转处理器，实际上，让他们在承诺过程之前尝试一下。所有 650 系统都可以升级或重新利用，无需返回工厂，只需使用简单的插件模块（无论是实际还是虚拟），并且可以包含几乎无限数量的流程和步骤。

Laurell 独特的内部转鼓设计消除了飞溅，无需安装"飞溅环"。我们的排气排水适配器带有可拆卸的油箱，功能强大，方便快捷。

封闭式转鼓设计与工艺控制器的精度相结合，使大多数涂层材料能够在静止状态下干燥，从而提高均匀性并醉大限度地减少颗粒污染。上充气室在底座内部关闭以提供重叠的密封，盖子内部有一个特殊的排水沟，将流体引导到系统的后部，以防止化学品意外滴落到基板上。

专有的迷宫式密封件可保护电机和控制电子设备免受化学污染。该密封件为工艺腔室提供了氮气吹扫，并已在现场测试期间被证明在亚微米级上无颗粒。该系统的盖子具有耐化学性，并且在整个系统中的一些未接液区域仅使用ECTFE涂层的316不锈钢螺钉。

安全：

与操作员完全电气隔离，万无一失的门联锁，以及ETL认证，UL和CSA认证的组件确保了多年的安全，无故障性能。联锁装置可防止在真空开关未接合和盖子打开时旋转。所有Laurell系统都符合CE和RoHS标准，所有证书都随每个系统一起发送。

过程保障：

所有Laurell过程控制器的"过程保护"功能确保相同的过程不会无意中在同一基板上运行。可以很容易地绕过此功能以再次运行相同的进程，而无需打开系统，或者可以一遍又一遍地运行序列（循环）。

所需设施

N2过程/密封吹扫：

需要 60–70 PSIG （4–5 bar） 的氮气/CDA来对迷宫式电机密封件加压。这种气体还会吹扫工艺腔室。气体消耗非常低，每小时3立方英尺（0.085米）3/小时）用于我们的标准电机，每小时 20 立方英尺（0.566 米）3/小时），用于我们的高性能电机。提供 10 英尺（300 厘米）的 3/16 英寸 （~4 毫米） 内径 X 1/4 英寸 （~6 毫米） 外径PE管。

真空：

建议在 0 英寸汞柱下真空 25–28 英寸（~635–711 毫米）汞柱，流量为 4.5 SCFM（0.127 立方米/分钟）。 提供 10 英尺（300 厘米）的 3/8 英寸（~9.5 毫米）外径 X 1/4 英寸（约 6 毫米）内径PE管。

功率：

95 到 240VAC， 47/63HZ， ~300 瓦

支持的流程：

HL系列通常用于溶剂型、碱型或酸性加工的手套箱：涂层、蚀刻、显影、漂洗-干燥和清洁。虽然所有这些过程都得到支持，但劳雷尔建议仅使用一次性，因为已知的材料冲突。例如，光刻胶和显影剂（交叉污染），以及 SC-1 和 SC-2（HCl + NH4OH），会产生 NH4Cl，吸入危险。 提供许多手动和自动分配选项。

技术参数：