超高分辨率的电子束光刻 CABL-UH 系列

超高分辨率的电子束光刻 CABL-UH 系列的型号包括：

CABL-UH90 (90keV) 、CABL-UH110 (110keV) 、CABL-UH130 (130keV)

技术参数：

加速电压：zui高 130keV

单段加速能力达到 130keV，尽量减少电子枪的长度超短电子枪长度，无微放电

电子束直径＜1.6nm 最小线宽＜7nm

双热控制，实现超稳定直写能力

设备咨询电话：182 6326 2536（微信同号）；