企业性质授权代理商
入驻年限第4年
电子束光刻 CABL-9000C 系列最小线宽可达 8nm,最小束斑直径 2nm,套刻精度
20nm(mean+2σ),拼接精度 20nm(mean+2σ)。
技术参数: 1.最小线宽:小于 10nm(8nm available) 2.加速电压:5-50kV
3. 电 子 束 直 径 : 小 于 2nm 4.套刻精度:20nm(mean+2σ) 5.拼接精度:20nm(mean+2σ) 6.加工晶圆尺寸:4-8 英寸(standard),12 英寸(option)
7.描电镜分辨率:小于 2nm
设备咨询电话:182 6326 2536(微信同号);