企业性质授权代理商
入驻年限第4年
NEO200A系列平台是Trymax半导体设备行业领先的NEO系列先进灰化和蚀刻产品的zui新成员。
它是一个全自动的单室系统,可配置任何现有的Trymax NEO工艺模块,并与直径达200mm的基板兼容。占地面积小的NEO200A配置有双盒式磁带。
•特征
- zui大200 mm晶圆尺寸/基板尺寸
- 双盒式平台
-3轴双臂机器人处理
-4个不同的处理模块:
•下游微波(2.45 GHz)
•射频偏压(13.56MHz)
•双源(微波,射频偏压)
•DCP(RF偏置,直接耦合等离子)
- 优异的均匀性和可重复性
- 机械吞吐量> 100wph
- 紧凑的足迹
- 非常低的拥有成本
- 完全数字控制,Devicenet以太网
- 基于窗口的工业计算机
•应用程序
- 阻挡条带
-Descum处理
- 去除聚合物
- 邮寄高剂量植入带
- 氮化硅蚀刻应用
-MEMS应用程序
- 封装加工(PR,PI,BCB,PBO)
设备咨询电话:182 6326 2536(微信同号)