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人机对话技术是半导体仪器仪表发展的方向，也是未来信息化社会的主流技术。半导体行业对仪器仪表的使用目的是为了便于更好地控制工艺流程，提高对设备的可控性，如果自动化测试仪表具有强大的人机对话特性，能够快速、准确地体现设备运行状态，在半导体制造工业中无疑起到了举足轻重的作用。
自动化仪表的人机对话是通过设备输入输出的对话界面实现的，而通过触摸屏可以让人们通过简单操作快速获取结果，实现直接操控界面，读取仪表对设备状态的检测数据，从而对工艺过程起到指导作用。这已成为重要的发展方向。
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