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在水中，将距离1cm的两片表面积为1cm2大小的电极加以通电，来监测两极间的导电率，通过所加电压和测得的电流能够获知两极间的电阻值，这个数值在水质分析中通常被称为电阻率或比电阻，其单位用MΩ.cm(megaohm-centimeter)来表示。电阻率的倒数称为导电率或电导率，用μs/cm(microSiemenspercentimeter)来表示。这两个参数是表示水的纯度的Z常用参数。
将自来水中的离子去除，会使得电阻率值升高（导电率降低），单并非无限制的增加，这是因为部分水分子会电离为氢离子和氢氧根离子，其电阻率值极限值18.248MΩ.cm(25°C)。此外，电阻率值会随着水的电离常数而改变，因而会受到水温的影响。例如，25°C的超纯水，其电阻值为18.2MΩ.cm,但在0°C则为84.2MΩ.cm,100 °C则为1.3MΩ.cm。在25 °C附近，当温度上升1 °C，其电阻值将下降0.84MΩ.cm。因此，多使用补偿至25°C的电阻率值来做衡量标准。
此外像总有机炭含量（TOC），热源内毒素含量，细菌含量，颗粒含量，微生物含量，总溶解固体含量（TDS）等也常常被用作补充说明水质的重要参数。因此，水的纯度标准通常由以上这些参数的一项或几项来综合说明、分级。
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