无尘车间洁净度等级要求【行业应用示例】-仪器网
仪器资讯

无尘车间洁净度等级要求【行业应用示例】

深度解析

  目前,洁净车间已广泛应用于各行各业的产品生产或其他要求防止粒子污染、微生物污染的环境控制,由于各行各业的产品特性不同、各种产品的生产工艺不相同,使用要求不同,因此要求控制环境的内容、指标均不会相同。所谓无尘车间的环境控制的内容应该包括:空气净化、洁净建筑、与产品直接接触的水或气体或化学品和生产设备、工器具等的污染物控制以及微振动、噪声、静电的控制、防止等。所以无尘车间的设计不仅要求对室内的空气进行净化达到规定的空气洁净度等级,还必须防止因无尘车间的建造用材料、装饰方式不当带来的污染,有的无尘车间还要求供给超纯水、超纯气体和高纯的化学品等。

  1、半导体集成电路要求的空气洁净度等级

  集成电路生产环境要求的空气洁净度等级主要取决于集成电路的集成度,不同工序的空气洁净度等级是依据可能污染的概率和对器件的潜在故障确定的。

  举例说明:

  例一、某厂集成电路前工序洁净厂房,无尘车间设计按加工、生产6英寸硅片、1M集成电路,图形特形尺雨1.0um,控制粒子粒径0..1um.

  无尘车间空气洁净度等级要求:

  光刻、匀胶区ISO3级

  离子注入、刻蚀CVD、外延、扩散等操作区ISO3级

  离子注入、刻蚀CVD、外延、扩散等维修区ISO5级

  例二、某厂集成电路前工序洁净厂房,无尘车间设计按加工、生产5英寸硅片、256K集成电路、图形特形尺雨2.0um,控制粒子粒径0.2um.

  无尘车间空气洁净度等级要求:

  光刻、匀胶区ISO3级

  离子注入、刻蚀CVD、外延、扩散等操作区ISO4级

  离子注入、刻蚀CVD、外延、扩散等维修区ISO6级

  2、一些电子产品生产环境的空气洁净度等级

  随着信息产业技术的发展,许多电子产品性能、质量的提高和生产过程的微细化,日益要求生产环境具有一定的空气洁净度等级和控制无尘车间内工艺生产所需的各类高纯物质的供给质量,目前国内外还没有统一电子产品的空气洁净度等级或生产环境控制要求的统一规定,各种电子产品的生产厂家依据其生产的产品品种、所采用的生产工艺技术、生产工艺设备、生产用原辅料以及无尘车间运行的实践经验确定设计建造无尘车间的空气洁净度等级。

  举例说明:

  例一、薄膜晶体管彩色液晶显示器生产用无尘车间,TFT-LCD具有体积小、质量轻、易携带、耗电低、色彩逼真、大容量、高分辨示等优点。

  各无尘车间空气洁净度等级,控制粒子粒径为0.3um

  清洗、涂胶、曝光间ISO4级

  显影、刻蚀间ISO5级

  成盒间ISO5级

  溅射、CVD间ISO6级

  例二、某高密度磁带生产用洁净厂房、无尘车间控制微粒粒径0.5um

  各无尘车间的空气洁净度等级要求

  涂布头ISO5级

  备件、切带、带基、测试、涂布间和烘干、固化间ISO6级

  组装、维修间和部分原料库ISO7级

  砂磨、化验间和配件间ISO8级

  成品库和部分原料库准洁净间

  3、精密机械、精细化工等产品生产环境的空气洁净度等级

  例一、一个陀螺仪生产用无尘车间

  无尘车间空气洁净度等级要求

  装配间ISO6级

  轴承加工间ISO5级

  例二、一个感光胶片生产用无尘车间

  流延机头部,涂布机头部ISO5级

  涂布室,流延机室ISO6级

 

 

  浙江苏净净化设备有限公司位于浙江省绍兴市上虞区道墟镇,是华东地区一家净化设备行业中的制造商之。可按ISO14644-1标准、GB50073-2001国家标准及国家GMP规范要求为微电子、生物医药、医院手术室、光纤光缆、食品饮料、精密仪器、半导体及新材料应用等行业提供专业的空气净化系统工程设计、施工、检测及技术服务。
   公司主营净化工作台系列、风淋室系列、通风柜系列,生物安全柜系列被广泛应用于YL卫生、电子、制药、生物、食品、农林、畜牧兽医、检验检疫、航空航天、汽车制造、精密仪器、大专院校和各科研机构,在国内和东南亚市场享有极高的声誉。
   浙江苏净净化设备有限公司竭诚为的消费者和经销商服务,将以Zyou质的产品;Z人性化的服务;Zdi廉的价格;热诚欢迎您的加盟! 


仪器网-专业分析仪器服务平台,实验室仪器设备交易网,仪器行业专业网络宣传媒体。

相关热词:

等离子清洗机,反应釜,旋转蒸发仪,高精度温湿度计,露点仪,高效液相色谱仪价格,霉菌试验箱,跌落试验台,离子色谱仪价格,噪声计,高压灭菌器,集菌仪,接地电阻测试仪型号,柱温箱,旋涡混合仪,电热套,场强仪万能材料试验机价格,洗瓶机,匀浆机,耐候试验箱,熔融指数仪,透射电子显微镜



2004-08-09
您可能感兴趣的产品评测