十万级无尘车间净化工程标准规范

　　洁净空间单位体积空气中，以大于或等于被考虑粒径的粒子Zda浓度限值进行划分的等级标准。用空态和静态方法进行测试。

　　十万级无尘车间：是指空气洁净度为十万级的洁净车间。空气洁净度是指洁净环境中空气含悬浮粒子量的多少的程度，通常空气中含尘浓度高则空气洁净度低，含尘浓度低则空气洁净度高。就是以每立方米空气中的Zda允许粒子数来确定其空气洁净度等级。

　　本文多角度阐述10万级洁净车间建造的标准规范,结合现行各规范标准,归纳出洁净度10万级净化车间的特点。

　　从换气次数角度上来说：

　　100000(10万)级要求每小时换气18-25次，完全换气后空气净化时间不超过40分钟。

　　10000(1万)级别要求每小时换气25-30次，完全换气后空气净化时间不超过30分钟。

　　1000(1千)级别要求每小时换气40-60次，完全换气后空气净化时间不超过20分钟。

　　各种等级包括10万级净化车间洁净度标准参考如下：

　　ISO14644根据悬浮粒子浓度这个唯yi指标来划分洁净室(区)及相关受控环境中空气洁净度的等级，并且仅考虑粒径限值(低限)在0.1um～5.0um范围内呈累积分布的粒子群。

　　根据粒子径，可以划分为常规粒子(0.1um～5.0um)、超微粒子(<0.1um)和宏粒子(>5.0um)。

　　空气洁净度分级标准：ISO14644-1(国际标准)

空气洁净度等级（N）

大于或等于所标粒径的粒子Zda浓度限值（个/每立方米空气粒子）

0.1um

0.2um

0.3um

0.5um

1um

5um

ISOClass1

10

2

    

ISOClass2

100

24

10

4

ISOClass3

1000

237

102

35

8

ISOClass4

10000

2370

1020

352

83

ISOClass5

100000

23700

10200

3520

832

29

ISOClass6

1000000

237000

102000

35200

8320

293

ISOClass7

 352000

83200

2930

ISOClass8

 3520000

832000

29300

ISOClass9

 35200000

8320000

293000

注：由于涉及测量过程的不确定性，故要求用不超过三个有效的浓度数字来确定等级水平。

　　空气洁净度分级标准：GB/T16292-1996(ZG标准)

粒径、数值洁净度级别

尘埃Zda允许数/立方米

微生物Zda允许数

≥0.5um

≥5um

浮游菌/立方米

沉降菌/皿

100级

3,500

0

5

1

10,000级

350,000

2,000

100

3

100,000级

3,500,000

20,000

500

10

300,000级

10,500,000

60,000

—

15

　　英国5295标准洁净室和空气净化装置分级：

空气洁净度等级（N）

大于或等于所标粒径的粒子Zda浓度限值（个/每立方米空气粒子）

0.3um

0.5um

5um

10um

25um

C

100

35

0

  

D

1000

350

0

E

10000

3500

0

F

 

3500

0

G

100000

35000

200

0

H

 

35000

200

0

J

 

350000

2000

450

0

K

 

3500000

20000

4500

500

L

  

200000

45000

5000

M

 

450000

50000

　　各种国际洁净度标准的比较：

美国联邦

美国联邦

英国标准

澳大利亚标准

法国标准

德国标准

国际标准

日本标准

标准209D

标准209E

BS5295

AS1386

AFNORX44101

VDI2083

14644-1

JACA24

      1

1

    —

0

2

2

1

M1.5

C

0.035

—

1

3

3

10

M2.5

D

0.35

—

2

4

4

100

M3.5

E

3.5

4000

3

5

5

1000

M4.5

G

35

—

4

6

6

10000

M5.5

J

350

400000

5

7

7

100000

M6.5

K

3500

4000000

6

8

8

  M

  7

9

—

　　综上以上标准，可以得出10万级无尘车间净化对应的参数如下：

洁净度等级

尘粒Zda允许数/pc.m3

换气次数/h

气流流型

≥0.5μm

≥5μm

100000

3500000

20000

10~15

非单向流

　　10万级无尘车间净化标准

　　1.尘粒Zda允许数(每立方米);

　　2.大或等于0.5微米的粒子数不得超过3500000个，大或等于5微米的粒子数不得超过20000个;

　　3.微生物Zda允许数;

　　4.浮游菌数不得超过500个每立方米;

　　5.沉隆菌数不得超过10个每培养皿。

　　压差：相同洁净度等级的净化车间压差保持一致，对于不同洁净等级的相邻净化车间之间压差要≥5Pa，净化车间与非净化车间之间要≥10Pa

 

 

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2004-08-09