超小型光谱传感器测量系统基于光谱共焦的原理,由光学头和控制器组成，之间通过一根光缆连接。超小型光谱传感器进行了小型化的封装，便于集成到现有的系统中。超小型光谱传感器应用于表面难以测量的物体（技术性及困难表面），是一种非接触式轮廓测量的通用的测量解决方案。理想情况下，光谱感应器适合于敏感的，软的或液体的表面。适用于微机械工程，电气工程，光学行业，塑料和造纸行业，半导体和PCB产业的检测，工具行业等。超小型光谱传感器主要特点：纳米级分辨率；与光强度无关,与被测体反射系数无关；坚固的结构，使用寿命长；易操作且动态测量可以达到很高的测量频率，wan美匹配自动化的需求。操作人员不需要经过专业的培训也能得到可靠的测量结果；超小型光谱传感器，具有简化的独立系统，可以在工业或交通不便的环境中进行测量；与三角反射法不同,几乎无反射角要求,且无反射平面阻挡之影响,因此可用于小孔深度测量；可以计算面积，厚度或体积；可进行平整度的测量，高度或位置的测量；超小型光谱传感器也叫传感器。是一种能把物理量或化学量转变成便于利用的电信号的器件，是传感系统的一个组成部分，它是被测量信号输入的diyi道关口。
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2004-07-30
