离子减薄仪操作规程

离子减薄仪为一种在材料科学领域普遍应用的仪器。离子减薄仪有着较快的制样速度。可以以zui小的耗费将高质量的TEM样品制备出来。该仪器可以快捷方便地进行操作，低能量离子枪功能为其所配备，对能量敏感性样品的减薄特别适合。液氮冷台为其所配备，对温度敏感性样品的减薄特别适合。陶瓷、半导体、金属和合金等多种材料的透射电子显微镜（ TEM）样品的制备为该仪器的主要用途。

离子减薄仪操作规程：

操作前准备

1.对是否仍然有氩气存在于氩钢瓶中进行确认，25PSI为输出压力。

2、将左右离子枪氩气关掉，将载台上升，仪器真空能够达到5E-4帕。

3、对左右离子枪离子束是否对中进行确定。

试片交换

1、采用试片座固定好试片，并且往zhong心移动待减区。

2、将stage按住，上滑绿色箭头使载台上升，将vent按住，将预抽室上盖取下

3、往预抽室样品座放入试片座，将预抽室上盖盖上。

4、将stage按住，下滑绿色箭头使载台下降，等到指示灯从黄变绿就行

减簿及观察

1、对所需的减薄时间进行设定。

2、对工作电压进行设定（通常设定成4或者5Kev）

3、对离子枪工作模式进行设定（通常设定成双离子束调变）

4、对左右离子枪工作角度进行调整（通常为±4度）

5、将氩气工作模式调整为自动气体

6、对载台转速进行设定（通常是3RPM）

7、对启动进行点击开始工作。

8、在工作期间能够对Viewing 选项进行点击，通过CCD来对样品减薄情况进行观察。

9、样品穿孔后能够对低电压进行更换继续减薄，一直到薄区良好。