匀胶机选购

将各类胶液滴注于高速旋转的基片上，滴在基片上的胶液通过离心力在基片上均匀地涂覆的设备，被叫做匀胶机。溶胶的黏度以及匀胶机的转速对于膜的厚度起到决定性作用。

匀胶机选购

就匀胶机原理而言，能够看出匀胶机的选购需要注意以下三个方面：

材质的选择

材质的选择对于半导体化工行业的应用而言特别关键，不锈钢或者普通塑料为大多数匀胶机所采用的材质，由于该种材质具有非常低廉的成本，在较高温度和压力下，塑料比较容易变形，不锈钢难以耐受各类化工胶液的腐蚀若变形导致托盘的位置失去水平，旋涂时时高时低的颠簸状态将会被引起。好的旋涂效果自然不能够得到。而天然聚丙烯或者聚四氟乙烯材质就有较大的强度以及较好的抗冲击性，具有较好的光泽度以及较轻的重量，花纹自然，坚固耐用，绿色环保，节约资源。

旋转速度

旋涂层的厚度控制和膜层均匀性与转速的快慢和控制精度有着较为直接的关系。若标示的转速和电机的实际转速有着非常大的误差，对于要求精密涂覆的科研人员而言，准确的实验数据将无法获得。国产的某些匀胶机仅仅可以提供转速范围，却不可以对实时的转速进行精确标定。尽管进口的匀胶机大多数可以对转速进行标定，然而大部分转速精度没有国际标准认定。

真空吸附系统的构造

真空泵一定要无油的，压力标定准确。由于任何的油污均可能导致真空管道堵塞。若降低真空吸附力，会造成吸附不住基片从而使“飞片”产生的情况，还可能使得真空管道系统不慎进入滴胶液从而导致完全堵塞。