磁控溅射仪

磁控溅射仪为一种用于物理学领域的分析仪器，于2015年05月25日启用。在电场E的作用下，电子在往基片飞去的过程中和氩原子有所碰撞，从而使得Ar正离子和新的电子电离产生。新电子往基片飞去，在电场作用下，Ar离子往阴极靶加速飞去，并且通过高能量对靶表面进行量轰击，使得靶材发生溅射。