椭偏仪/椭圆偏振仪

椭偏仪/椭圆偏振仪简介：椭偏仪/椭圆偏振仪是一种用于探测薄膜厚度、光学常数以及材料微结构的光学测量仪器。由于测量精度高，适用于超薄膜，与样品非接触，对样品没有破坏且不需要真空，使得椭偏仪成为一种极具吸引力的测量仪器。椭偏仪测量的基本原理是利用一束已知偏振状态的偏振光波作为探针与待测光学样品相互发生作用，这种相互作用将改变光波的偏振状态，测量偏振状态的终态并将其与偏振状态的初态相比较并分析从而得到材料的光学性质。