二次离子质谱仪

二次离子质谱仪简介：二次离子质谱仪是用来检测材料的一种仪器，它是采用质谱技术分析表面原子层以确定表面元素组成和分子结构。其特点是高灵敏度和高分辨率。二次离子质谱仪的应用很广，侦测表面污染、氧化、还原、吸附、腐蚀、触媒效应、表面处理等动态分析之表面研究工作，尤其可作微量元素分布，因此在材料、化学、物理、冶金及电子方面之发展，使用者很多。