电镜附件

电镜附件简介：电镜附件有X射线能谱仪、X射线波长色散谱仪、离子研磨仪等。X射线能谱仪首先是在扫描电镜和电子探针分析仪器得到应用，其优点是可以分析微笑区域（几个微米）的成分，并且可以不用标样。它可用来分析材料表面微区的成分，分析方式有定点定性分析，定点定量分析，元素的线分布，元素的面分布。X射线波长色散谱仪用作微区成分分析，通过机械装置的运动改变距离L来实现成分分析。离子研磨仪用于扫描电子显微镜、电子探针仪和SAM的样品制备，它可以制备软的、硬的和复合材料的样品，损伤、污染和变形可以控制得非常小。