JSM-IT800SHL 场发射扫描电镜主要特点
。超高分辨图像的观察，放大倍数 3 百万倍
0.5nm (二次电子,加速电压：15kV)
0.7nm (二次电子,GB 模式，加速电压：1kV) 突出的低压分辨率
。加速电压： 0.01kV~30.0kV, 低可以到 10V，仍然可以得到高分辨率图像。
。高稳定的大束流强度：
日本电子的 JSM-IT800SHL 热场电子枪浸没在聚光镜上半部，发射出的电子束可以全部进入聚光镜，使得分析束流从 15KV 下 10-20nA 提高到 500nA，能谱、波谱等分析效率效果明显改善。与此同时，溅射出的污染明显减少，枪的寿命大幅度延长。分子泵系统：真空系统洁净，抽气速度快，维护简单。
。大束流下保持高分辨率
小束流观察时，容易得到小束斑，保证高分辨率。提高束流，束斑尺寸不容易维持，分辨率衰减较快，这也是早期热场电镜无法取得高分辨率的原因。日本电子的 JSM-IT800SHL 在物镜光阑下端多设计了一级磁透镜（光阑角控制透镜 ACL），可以对电子束进行优化，得到大束流下的小束斑。原本 500pA 下就很难获得图像的情况改进到束流 500nA 下依然图像清晰，从根本上解决了大分析束流与高分辨率图像并存的难题。同时给出了一个分析模式下的分辨率保证值，这是其他厂家无法保证的。
。新开发的超级混合式物镜：应用领域广泛，可以直接做磁性样品，无需任何模式切换
。 NEO Engine：全新开发的 NEO Engine 优化系统，可以简单一键自动聚焦合轴，无需任何操作基础，轻松可以达到高倍下一键聚焦，使得该设备的易用性达到了新的高度。
。五轴马达样品台标准控制：使用极为方便；
。快捷的双换样方式：利用 JSM-IT800SHL 的标准配置气锁加大开门设计，即可装入直径为170mm 样品，气锁换样速度快污染小，同时支持侧面大开门换样，这样对于大样品和特种附件的安装就更加方便；
。 新型探测器：Inlens 探头 UHD 探头可以高信噪比的进行二次电子成像。对于表面精细结构更加灵敏，同时适合断口样品分析。
。浸没式热场发射电子枪（ZG）：束流稳定性高，电子枪寿命超长，质保期为 3 年。
。光阑角控制透镜（ZG）：无须手动切换光阑，束流大小完全由计算机自动控制；
。离子泵的电源支持：停电可以坚持 14 天，电池更换每次只需 200 元左右。
。良好的可操作性：控制界面设计非常友好，使用极为便利；
。稳定的 GB 模式：标准配置。可以有效YZ充电和提高低电压下的分辨率(ZG)；
。一体化能谱分析：配合一体化能谱仪（EDS）分析时，可以实时显示图像和成分信息，无需模式切换。
。超长的发射体寿命: 由于采用 In-Lens 技术，我们的束流强度可以达到 500nA，其他厂家只能做到 20nA.我们在做成分分析时，或搭载 EBSD 或 WDS 时，分析速度和结果的精确度远远高于他们。采用了 In-Lens 电子枪技术和WM的气锁换样系统，我们的发射体质保 3 年，用户一般使用在 6 年以上，而其他厂家只能提供质保 1 年的承诺。
。优秀的技术支持和售后服务体系：日本电子株式会社在ZG建立独立的维修站已经超过 20 年，拥有经验丰富的技术工程师（包括常驻的外国工程师）60 多人，反应快，技术力量强。
JSM-IT800SHL 场发射扫描电镜系统主要性能参数
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