电子探针/X射线微区分析仪

电子探针/X射线微区分析仪简介：电子探针/X射线微区分析(EPMA)Electron Probe X-ray Microanalysis是用聚焦极细的电子束轰击固体的表面，并根据微区内所发射出X射线的波长（ 或能量）和强度进行定性和定量分析的方法。电子探针（Electron Probe Microanalysis-EPMA）的主要功能是进行微区成分分析。它是在电子光学和X射线光谱学原理的基础上发展起来的一种高效率分析仪器。X射线谱仪是电子探针的信号检测系统，分为能量分散谱仪和波长分散谱仪。