用户论文：As＋B+离子注入硅的结构和摩擦学性能

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利用XRDXPSAES分析了As＋B+离子注入后的硅的表明成分结构和化学状态，并通过AFM/FFM和SRV实验测量了As＋B+离子注入硅的微观摩擦和宏观摩擦磨损性能结果表明，As＋B+离子注入后，单晶硅表明仍呈晶态，表面粘着力微观及宏观摩擦系数增大，同时耐磨损能力增强微观与宏观摩擦磨损特性的规律基本一致

全文请访问：http://www.spm.com.cn/papers/p51.pdf" 扫描探针显微镜(SPM/AFM/STM)