用户论文：纳米硅表面与界面的扫描隧道显微镜研究

全文请访问：http://www.spm.com.cn/papers/p60.pdf


本文应用扫描隧道显微镜(STM ) , 对使用等离子体增强化学气相沉积法(PECVD) 制备的纳米硅(nc2Si: H) 薄膜进行了研究, 得到颗粒上以及颗粒间界的原子结构图像, 从图像上可以得出: (1) 纳米硅薄膜是由许多不同大小的颗粒所组成这些颗粒同时又是由更小的微颗粒所组成(2) 微颗粒的表面及界面原子排列可以分为四种形式; 环状结构, 线状结构, 网状结构以及完全无规的随机排列(3)观察到环状结构不仅存在于界面, 而且普遍存在于微颗粒的表面本文从机理上对以上各结构的生成机理进行了初步的讨论

全文请访问：http://www.spm.com.cn/papers/p60.pdf 扫描探针显微镜(SPM/AFM/STM)