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针对一些特殊材料表面形貌的检测需要,在原有国产商用激光检测原子力显微镜的基础上,设计研制了适用性更广功能更强的原子显微镜在不提高驱动压的前提下,采用改进的扫描管,将扫描范围从15m ×15m 提高到了50m ×50m;改进了原有的微探针扫描模式,在探针上施加一驱动的简谐振荡信号,使探针发生振荡由于存在着表面的力梯度,当样品与探针距离发生振荡变化时,针尖振荡的振幅频率和位相都会随之改变用电子信号反馈电路探测此变化,就能得到样品表面形貌的信息
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扫描探针显微镜(SPM/AFM/STM)
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