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凌云光技术股份有限公司时间:
2021-01-20行业:
电子/电气/通讯/半导体 半导体方案背景
硅片生产企业和电池片生产企业应用该方案,可对太阳能硅片的几何尺寸、外观缺陷以及肉眼无法分辨的隐裂缺陷进行全自动分拣,替代以往人工检测方式、可以较大提高检测效率,并提升检出率。可以充分满足硅片厂家质量要求。同时降低了该企业和下游企业的质量控制成本,提高了客户在行业的竞争力。
系统整体采用非接触测量方式,通过在流水线中设置多个工位,分别实现硅片各个参数的检测。下面根据分别介绍各个工位:
【尺寸工位】:
基本原理图和采集到的图像如下:
1、相机:精度=幅宽/分辨率,200mm/5120≈0.039mm/pix;产量5000片/h,每片耗时约700ms;
2、镜头:焦距=工作距离*放大倍率/(1+放大倍率),500x0.115/1.115=51mm,符合条件的常用F口镜头焦距为50mm;
3、光源:面阵背光
凌云推荐视觉方案A
Mikrotron公司2500万像素大面阵相机
1、2500万高分辨率,满足高精度检测需求
2、使用CoaxPress接口,高带宽,可提供高达80fps帧速,提供高速检测效率
3、整机小巧紧凑,防震动、抗冲击性能强
KAYA Instruments 公司高速采集卡
1、支持4路CoaxPress接口6.25Gbps带宽
2、PCIe Gen×8通道,主机数据传输高达55Gbps
Schneider Xenon-Emerald 2.2/50近红外镜头
1、可支持2900万级像素分辨率
2、400~1000nm波段透过
3、高鲁棒性
凌云推荐视觉方案B
IMPERX公司2500万像素大面阵相机
1、2500万高分辨率,满足高精度检测需求
2、使用CameraLink接口,高带宽,可提供较高32fps帧速,提供高速检测效率
3、整机小巧紧凑,防震动、抗冲击性能强
4、-40℃~+85℃宽温工作范围
Teledyne DALSA Xtium-CL采集卡
1、支持Cameralink Base、 Medium 、 Full、80bit四种模式,尤其支持双Base功能,可以一个采集卡带2个相机。
2、是DALSA目前性价比较高的高速Camera Link采集卡
Schneider Xenon-Emerald 2.2/50近红外镜头
1、可支持2900万级像素分辨率
2、400~1000nm波段透过
3、高鲁棒性
【隐裂工位】
基本原理图和采集到的图像如下:
1、相机:精度=幅宽/分辨率,200mm/2000≈0.1mm/pix;物料速度约0.5m/s,行频 = 5KHz;(若有提速,请以实际速度为准)
2、镜头:芯片尺寸/视场范围 = 焦距/工作距离,工作距离:40mm*200/25 ≈ 320mm ;
3、光源:红外线扫光源;
凌云推荐视觉方案
Xenics公司Lynx2K近红外线扫描相机
1、2048×1分辨率,提供高精度检测
2、使用InGaAs芯片,0.9~1.7μm波段响应
3、CameraLink或GigE接口可选,较高可提供10kHz帧频
4、整机小巧紧凑,便于设备集成
Teledyne DALSA Xtium-CL采集卡
1、支持Cameralink Base、 Medium 、 Full 、80bit四种模式,尤其支持双Base功能,可以一个采集卡带2个相机。
2、是DALSA目前性价比较高的高速Camera Link采集卡
Schneider Swiron 2.8/40近红外镜头
1、专为0.8~1.8μm波段设计
2、高透过率,低畸变
【脏污检测】
基本原理图和采集到的图像如下:
凌云推荐视觉方案
DALSA公司LINEA 8K高性价比黑白线阵相机
1、8192×1分辨率,提供高精度检测
2、CameraLink或GigE接口可选,较高可提供80kHz帧频
3、整机小巧紧凑,便于设备集成
4、高性价比
Teledyne DALSA Xtium-CL采集卡
1、支持Cameralink Base、 Medium 、 Full 、80bit四种模式,尤其支持双Base功能,可以一个采集卡带2个相机。
2、是DALSA目前性价比较高的高速Camera Link采集卡
长步道高性价比线扫描镜头
1、专为小型线扫描相机而设计
2、低倍率镜头适用于大尺寸检测
3、高性价比