解决方案

使用配备 UMA 附件的 Cary 5000 测量折射率薄膜厚度

采用配备全能型测量附件包的 Cary 5000 分光光度计测量了两种样品的折射率。

其中一个样品为纳米复合涂层:石英基底(可见光范围内透明)上的 Zr-Si-B-(N) 薄膜。第二个样品为单晶硅基底(可见光范围内不透明)上的铌酸锂 LiNbO3 层状结构。

计算出了两个样品的折射率,准确度为 ±0.01。根据所测定的折射率,计算了两个样品的薄膜厚度。


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