QuanX型荧光能谱仪晶园上薄膜纳米级薄膜厚度均匀度测量

使用X-荧光能谱仪进行多层薄膜厚度测量技术在半导体材料镀层分析上广泛使用但是纳米级薄膜测量技术仍然是测量技术的难点本文详细介绍了使用QuanX 荧光能谱仪进行这种分析的全过程 X射线荧光光谱仪