激光干涉仪检测数控机床位置精度

1.测量精度高速度快，稳定性好
使用美国高性能氦氖激光器，结合伺服稳频控制系统，达到高精度稳频(0.05ppm)
以光波长(633nm)为测量单位，分辨率可达nm级
使用高速光电信号采样和处理技术，测量速度可达到4m/s
配合有环境补偿单元，在环境变化的情况下，也可以得到较高的测量精度
分离式干涉镜设计，避免了测量镜组由于主机发热而引起的镜组形变
2. 应用范围广
可以实现线性角度直线度垂直度平面度等几何量的检测
结合我们的软件系统，可以用于速度，加速度，振动分析以及稳定度等分析
可实时监控精密加工机床等机器的动态数据，进行动态特性分析
3 软件界面友好
使用当前热门的软件界面开发工具，软件界面人性化，操作简单
将静态测量和动态测量两种功能合并到一个软件中，更方便用户切换测量类型
向导式操作，流程清晰，更符合国内用户的使用习惯
4 性价比高
性能达到了国外仪器的水准，价格是国内仪器的良心价 中图仪器SJ6000激光干涉仪