AU143 酸性镀铜液中Cl-的测定（戴安公司）

使用仪器：DX-600系统

酸性镀铜液用于半导体晶片上沉积铜在这个过程中，需要监测Cl-的浓度，对铜沉积的质量非常重要与湿化学法比较，离子色谱法改善了测定速度和准确性酸性镀铜液包含的典型组分是硫酸铜硫酸盐酸和各种专用添加剂 赛默飞戴安ICS-900离子色谱仪