氧化硅材料的粒度测量

氧化硅是一种常用的矿物材料，从研磨剂到填料以至作为提高物性用的添加 剂，它有一个广泛的使用范围 高纯度要求的打磨剂如 CMP 需要次微米级颗粒，通常使用沉淀法或发烟法加 工Z常用的或大颗粒的氧化硅，是把天然原料如砂石或石英进行分类，研磨后再加工的 HORIBA 激光散射粒度分布分析仪 Horiba 激光散射粒度分布分析仪（LA-950V2）